行星减速机获得硬齿面齿轮的热处理方法很多，比如有表面淬火，整体淬火、渗碳淬火、渗氮等，具体应根据行星齿轮减速机的特点考虑选定。

 

1.表面淬火

常见的表面淬火方法有高频淬火（对小尺寸齿轮）和火焰淬火（对大尺寸齿轮）两种。表面淬火的淬硬层包括齿根底部时，其效果好。表面淬火常用材料为碳的质量分数约0.35%~0.5%的钢材，行星减速机齿面硬度可达45~55HRC。
 

2.渗氮

采用渗氮可保证轮齿在变形小的条件下达到很高的齿面硬度和耐磨性，热处理后可不再进行精加工，提高了承载能力。这对于不易磨齿的内齿轮来说，具有特殊意义。

3.渗碳淬火

渗碳淬火齿轮具有相对大的承载能力，但需采用精加工工序（磨齿）来消除热处理变形，以保证精度。

渗碳淬火齿轮常用渗碳前碳的质量分数为0.2%~0.3%的合金钢，其齿面硬度常在58~62HRC的范围内。若低于57HRC时，齿面强度显著下降，高于62HRC时则脆性增加。轮齿心部硬度一般以310~330HBW为宜。渗碳淬火齿轮的硬度，从轮齿表面至深层应逐渐降低，而有效渗碳深度规定为表面至深层应逐渐降低，而有效渗碳深度规定为表面至硬度52.5HRC处的深度。